菊田和重, 石川温士, 佐々木隆史, 菱沼孝夫, 近久武美, 宮田敏光, 山口天和: "各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測"日本機械学会2003年度年次大会講演論文集. III. 9-10 (2003)
菊田和重, 石川温士, 佐々木隆史, 菱沼孝夫, 近久武美, 宮田敏光, 山口天和: "各種成膜シリコンウエハの放射熱物性計測"日本機械学会2003年度年次大会講演論文集. III. 9-10 (2003)
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Kazushige Kikuta、Atsushi Ishikawa、Takashi Sasaki、Takao Hishinuma、Takemi Chikahisa、Toshimitsu Miyata、Tenkazu Yamaguchi:“各种薄膜沉积硅片的辐射热性能的测量”日本机械工程师学会 2003 年年会论文集 III。 .9-10 (2003)
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