M. Adachi, T. Fujimoto, K. Okuyama: "Motion Control of lonized Intermediates in TEOS/O_3-APCVD Reactor"Proc. 1st Asia Aerosol Conf.. 219-220 (1999)
M. Adachi, T. Fujimoto, K. Okuyama: "Motion Control of lonized Intermediates in TEOS/O_3-APCVD Reactor"Proc. 1st Asia Aerosol Conf.. 219-220 (1999)
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M. Adachi、T. Fujimoto、K. Okuyama：“TEOS/O_3-APCVD 反应器中离子化中间体的运动控制”Proc。
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