T. Arai, M. Goto, K. Horikoshi, S. Mashino and S. Aikyo: "Effects of Fluorocarbon Films on CF Radical in CF_4/H_2 Plasma"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 38. 4377-4379
T. Arai, M. Goto, K. Horikoshi, S. Mashino and S. Aikyo: "Effects of Fluorocarbon Films on CF Radical in CF_4/H_2 Plasma"Jpn. J. Appl. Phys.. Vol. 38. 4377-4379
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T. Arai、M. Goto、K. Horikoshi、S. Mashino 和 S. Aikyo：“氟碳薄膜对 CF_4/H_2 等离子体中 CF 自由基的影响”Jpn。
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