メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性
メチルBCN膜のRFバイアスによる膜質依存性
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RF 偏压导致甲基 BCN 薄膜的薄膜质量依赖性
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉野隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
増住拓朗;原誠;青木秀充;呂志明;木村千春;杉野隆
