田中一平, 波多江優輝,原田泰典
田中一平, 波多江優輝,原田泰典
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田中一平、畑江由纪、原田康典
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高密度プラズマを用いた SiCN膜の作製
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大平将寛;田中一平;原田泰典;MVP法を用いた窒化炭素膜の堆積に及ぼす基板温度の影響;高密度プラズマを用いたCN膜の作製;マイクロ波励起高密度プラズマを用いた SiCN 膜の成膜;各種プラズマ CVD による窒化炭素合成;表面波プラズマを用いた窒化炭素の作製;高密度プラズマを用いた SiCN膜の作製
