斜め入射堆積Ti薄膜の熱酸化による酸化チタン薄膜の作製II
斜め入射堆積Ti薄膜の熱酸化による酸化チタン薄膜の作製II
复制标题
斜入射钛薄膜热氧化制备氧化钛薄膜II
DOI：
--
复制
发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
安田 洋司，星 陽一
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
１）星 陽一;濱口大地;小林信一;澤田 豊;内田孝幸;安田洋司;安田 洋司，星 陽一
