Parasitic current characteristics of a MOSFET with a Si-implanted gate-SiO2

Parasitic current characteristics of a MOSFET with a Si-implanted gate-SiO2
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硅注入栅极-SiO2 MOSFET的寄生电流特性

DOI:
10.1016/0038-1101(94)00244-a
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发表时间:
1995
影响因子:
1.7
通讯作者:
T. Hori
T. Hori
中科院分区:
物理与天体物理3区
文献类型:
--
作者:
T. Ohzone;A. Michii;T. Hori

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