Molecular Dynamics of GaN Dry Etching
Molecular Dynamics of GaN Dry Etching
复制标题
GaN干法刻蚀的分子动力学
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
河村雄行
中科院分区：
文献类型：
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作者：
服藤憲司;河村雄行
