Y. Yamamoto et al.: "Surface Adsorption of WF_6 on Si and SiO_2 in Selective W-CVD"Proceedings of the 15th International Conference on Chemical Vapor Deposition: CVD XV, (M. D. Allendorf, T. M. Bessman, M. L. Hitchman, M. Robinson, Y. Shimogaki, F. Teyssa
Y. Yamamoto et al.: "Surface Adsorption of WF_6 on Si and SiO_2 in Selective W-CVD"Proceedings of the 15th International Conference on Chemical Vapor Deposition: CVD XV, (M. D. Allendorf, T. M. Bessman, M. L. Hitchman, M. Robinson, Y. Shimogaki, F. Teyssa
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Y. Yamamoto等人：“选择性W-CVD中Si和SiO_2上的WF_6的表面吸附”第15届化学气相沉积国际会议论文集：CVD XV，（M. D. Allendorf，T. M. Bessman，M. L. Hitchman，M. Robinson，
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