表面处理对HfO2栅介质MOS电容界

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DOI:
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发表时间:
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期刊:
固体电子学研究与进展,已录用 (EI收录).
影响因子:
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通讯作者:
许胜国
许胜国
中科院分区:
其他
文献类型:
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作者:
徐静平*;李艳萍;许胜国

文献摘要

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