Polarity inversion of AlN fabricated by wafer bonding and its atomic arrangement models
Polarity inversion of AlN fabricated by wafer bonding and its atomic arrangement models
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晶圆键合制备AlN的极性反转及其原子排列模型
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R. Katayama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Hayashi;H. Miyake;K. Hiramatsu;T. Akiyama;T. Ito;R. Katayama
