S.Chichibu: "Heavily ar senic doping into Si by ArF excimer laser irradiation using tertiarybutylarsine" Materials Science Forum. 117-118. 243-248 (1993)
S.Chichibu: "Heavily ar senic doping into Si by ArF excimer laser irradiation using tertiarybutylarsine" Materials Science Forum. 117-118. 243-248 (1993)
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S.Chichibu：“使用叔丁基胂通过 ArF 准分子激光照射将砷大量掺杂到 Si 中”材料科学论坛。
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