Kinetics of the Oxidation and Nitridation of Silicon at High Temperatures
Kinetics of the Oxidation and Nitridation of Silicon at High Temperatures
复制标题
硅高温氧化和氮化动力学
DOI：
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发表时间：
1958
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Chatterji
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Evans;S. Chatterji
