転がり軸受部の摩擦挙動のモデル化による超精密位置決め
転がり軸受部の摩擦挙動のモデル化による超精密位置決め
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通过对滚动轴承的摩擦行为进行建模来实现超精确定位
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中淑晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
上田宗史;赤木徹也;堂田周治郎;田中淑晴
