Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device
Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device
复制标题
硅表面连续激光退火对功率器件应用的影响
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Satoru Kaneko;Takeshi Ito;Kensuke Akiyama;Manabu Yasui;Chihiro Kato;Satomi Tanaka;Yasuo Hirabayashi;Takeshi Ozawa;Akira Matsuno;Takashi Nire;Hiroshi Funakubo and Mamoru Yoshimoto
