アドバンスドCMOSのための同位体援用アトムプローブ解析とTEMトラッキング観察

アドバンスドCMOSのための同位体援用アトムプローブ解析とTEMトラッキング観察
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先进 CMOS 的同位素辅助原子探针分析和 TEM 跟踪观察

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
宮本 聡
宮本 聡
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M. Homma;T. Sannomiya;宮本 聡

文献摘要

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