N.Ueno et al.: "Mechanism of UV-and VUV-induced etching of poly(methyl-methacrylate):Evidence for an energy dependent reaction." in Polymers in Microlithography,Material and Processes,(ACS Symp.Ser.Vol.). 412. 424-436 (1989)
N.Ueno et al.: "Mechanism of UV-and VUV-induced etching of poly(methyl-methacrylate):Evidence for an energy dependent reaction." in Polymers in Microlithography,Material and Processes,(ACS Symp.Ser.Vol.). 412. 424-436 (1989)
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N.Ueno 等人：“紫外线和真空紫外线诱导聚甲基丙烯酸甲酯蚀刻的机制：能量依赖反应的证据。”
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