Geバッファ層とサブ原子層カーボン導入によるGe/Siミキシングの抑制

Geバッファ層とサブ原子層カーボン導入によるGe/Siミキシングの抑制
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通过引入Ge缓冲层和亚原子层碳抑制Ge/Si混合

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鷲尾勝由
鷲尾勝由
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
伊藤友樹;早瀬凌;畠山真慈;川島知之;鷲尾勝由

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