めっきによるシリコン貫通電極作成のモンテカルロシミュレーション
めっきによるシリコン貫通電極作成のモンテカルロシミュレーション
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通过电镀创建电极对硅进行蒙特卡罗模拟
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金子豊,小原勝彦,浅富士夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吹上悠貴;金子豊,小原勝彦,浅富士夫
