T. Nakamura et al.: "Si/Al_2O_3/Si as sensor Material." Proc. of Integrated Micro-Motion System-Micromaching, Control and Applications,. 147-166 (1989)
T. Nakamura et al.: "Si/Al_2O_3/Si as sensor Material." Proc. of Integrated Micro-Motion System-Micromaching, Control and Applications,. 147-166 (1989)
复制标题
T. Nakamura 等人：“Si/Al_2O_3/Si 作为传感器材料。”
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
