ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測
ナノインプリント圧着過程におけるUV硬化性樹脂の4次元流動計測
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纳米压印粘合过程中紫外光固化树脂的四维流动测量
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.T. Oh;K. Kariya;Y. Hamamoto;B.B. Saha;H. Mori;T. Miyazaki and S. Koyama;海野徳幸,筒田剛,佐竹信一,谷口淳
