酸素プラズマにより除膜されたDLC膜の表面分析
酸素プラズマにより除膜されたDLC膜の表面分析
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氧等离子体去除DLC膜的表面分析
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
谷本壮，三谷悠大，富永凌也，近藤勇樹，針谷達，滝川浩史，権田英修，神谷雅男
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宇都宮太一;西嶋仁浩;冨田要介;荒井拓実;谷本 勉;照井颯志，吉田征弘，田島克文;谷本壮，三谷悠大，富永凌也，近藤勇樹，針谷達，滝川浩史，権田英修，神谷雅男
