イオンミキシング蒸看法による(Ti,Al)N薄膜の作製とその特性評価
イオンミキシング蒸看法による(Ti,Al)N薄膜の作製とその特性評価
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离子混合气化法制备(Ti,Al)N薄膜及其性能评价
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
植田壮映
中科院分区：
文献类型：
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作者：
内田 仁;山下正人;花木 聡;植田壮映
