液体窒素中放電で形成された窒化アルミニウム皮膜の構造
液体窒素中放電で形成された窒化アルミニウム皮膜の構造
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液氮放电形成氮化铝薄膜的结构
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉田昌史，山﨑誠志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中嶋優作;原田泰典;吉田昌史，山﨑誠志
