超小型衛星のための厚膜レジストSU-8を用いたエレクトロスプレーイオン源
超小型衛星のための厚膜レジストSU-8を用いたエレクトロスプレーイオン源
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用于微卫星的使用厚膜抗蚀剂 SU-8 的电喷雾离子源
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鷹尾祥典
中科院分区：
文献类型：
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作者：
新宮拓実;長尾昌善;村上勝久;村田博雅;鷹尾祥典
