酸素プラズマ中でのSi表面水素の挙動
酸素プラズマ中でのSi表面水素の挙動
复制标题
氧等离子体中硅表面氢的行为
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他6名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
篠原 正典;他6名
