Characterization of epitaxial β-FeSi_2 thin films on Si substrate by SEM, EBIC and EBSD imaging
Characterization of epitaxial β-FeSi_2 thin films on Si substrate by SEM, EBIC and EBSD imaging
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Si 衬底上外延 β-FeSi_2 薄膜的 SEM、EBIC 和 EBSD 成像表征
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Suemasu and T. Sekiguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Jiptner;H. Kawakami;J. Chen;T. Suemasu and T. Sekiguchi
