高品質DLC膜形成に向けた真空アークプラズマビームの制御
高品質DLC膜形成に向けた真空アークプラズマビームの制御
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真空电弧等离子束控制可形成高质量 DLC 薄膜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
滝川浩史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shinichiro MUROOKA;Keisuke TOMODA;Nobukazu HOSHI;Junnosuke HARUNA;Meifen CAO;Atsuhiro YOSHIZAKI and Keiichi HIRATA;滝川浩史
