Atomic hydrogen-induced degradation of the Si/SiO 2 structure
Atomic hydrogen-induced degradation of the Si/SiO 2 structure
复制标题
原子氢诱导的 Si/SiO 2 结构降解
DOI：
10.1016/0167-9317(95)00004-r
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发表时间：
1995
影响因子：
2.3
通讯作者：
J. Stathis
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E. Cartier;J. Stathis
