Introduction to microfabrication techniques.
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DOI：
10.1385/1-59259-997-4:3
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发表时间：
2006
影响因子：
--
通讯作者：
R. Zaouk;B. Park;M. Madou
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Zaouk;B. Park;M. Madou
