Optical diagnostics of d.c. and r.f. argon magnetron discharges
Optical diagnostics of d.c. and r.f. argon magnetron discharges
复制标题
直流光学诊断
DOI:
--
复制
发表时间:
1995
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
M. Wautelet
中科院分区:
文献类型:
--
作者:
M. F. Dony;A. Ricard;J. Dauchot;M. Hecq;M. Wautelet