EMBEDDING OF COPPER INTO SUBMICROMETER TRENCHES USING THE MOLECULAR PRECURSOR METHOD
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使用分子前驱体方法将铜嵌入亚微米沟槽
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mitsunobu Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroki Nagai;Tatsuya Suzuki;Takayuki Nakano;Mitsunobu Sato
