TLZ法を利用した均一組成バルクSiGe結晶(1)大口径化と高品質化

TLZ法を利用した均一組成バルクSiGe結晶(1)大口径化と高品質化
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采用 TLZ 法制备均匀成分块状 SiGe 晶体 (1) 直径更大、质量更高

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
荒井 康智
荒井 康智
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
木下 恭一;荒井 康智

文献摘要

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