T.Meguro: "Surface process in digital etching of GaAs" Thin Slid Films. 225. 136-139 (1993)
T.Meguro: "Surface process in digital etching of GaAs" Thin Slid Films. 225. 136-139 (1993)
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T.Meguro：“GaAs 数字蚀刻中的表面处理”薄膜。
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