LiNbO_3正方形屈曲振動子を用いた非接触型超音波モータの特性
LiNbO_3正方形屈曲振動子を用いた非接触型超音波モータの特性
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采用LiNbO_3方形弯曲振子的非接触式超声波电机特点
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
広瀬精二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
八嶋剛弘;山吉康弘;広瀬精二