Automatic Testing Equipment and Experiments Based on the Quantitative Shadow Method for Measuring Sub－Nanometer Deformations on Aspheric Surface
Automatic Testing Equipment and Experiments Based on the Quantitative Shadow Method for Measuring Sub－Nanometer Deformations on Aspheric Surface
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基于定量阴影法测量非球面亚纳米变形的自动测试装置及实验
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发表时间：
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期刊：
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通讯作者：
冯之敬
中科院分区：
文献类型：
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作者：
冯之敬
