薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上
薄膜化による(Al,Sc)N膜の結晶異方性及び強誘電特性の向上
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通过薄膜减薄改善(Al,Sc)N薄膜的晶体各向异性和铁电性能
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
舟窪 浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安岡 慎之介;水谷 涼一;大田 怜佳;白石 貴久;清水 荘雄;安井 伸太郎;江原 祥隆;西田 謙;上原 雅人;山田 浩志;秋山 守人;今井 康彦;坂田 修身;舟窪 浩
