Frequency Tuning of In-Plane Comb Drive MEMS Resonators Due to VO 2 Phase Transition
Frequency Tuning of In-Plane Comb Drive MEMS Resonators Due to VO 2 Phase Transition
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由于 VO 2 相变导致面内梳状驱动 MEMS 谐振器的频率调谐
DOI：
10.1109/jmems.2023.3240076
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发表时间：
2023
影响因子：
2.7
通讯作者：
Sepúlveda, Nelson
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Pastrana, Juan;Torres, David;Starman, Lavern;Figueroa, Jose;Hall, Harris;Sepúlveda, Nelson
