C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその評価(No.1-221)
C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜堆積とその評価(No.1-221)
复制标题
C_8F_<18>A-C:F等离子CVD成膜及其评价（No.1-221）
DOI：
--
复制
发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
菅原広剛
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
小池広恵;山内達也;須由善行;酒井洋輔;菅原広剛
