スパッタ法による高誘電体SrTa2O6薄膜の作製と酸化物薄膜トランジスタへの応用薄膜トランジスタへの応用スパッタ法による高誘電体SrTa2O6薄膜の作製と酸化物薄膜トランジスタへの応用
スパッタ法による高誘電体SrTa2O6薄膜の作製と酸化物薄膜トランジスタへの応用薄膜トランジスタへの応用スパッタ法による高誘電体SrTa2O6薄膜の作製と酸化物薄膜トランジスタへの応用
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溅射法制备高介电 SrTa2O6 薄膜及其在氧化物薄膜晶体管中的应用 溅射法制备高介电 SrTa2O6 薄膜及其在氧化物薄膜晶体管中的应用
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内山潔
中科院分区：
文献类型：
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作者：
髙橋崇典;宝賀剛;宮永良子;藤井茉美;及川賢人;浦岡行治;内山潔
