Measurements of Effective Refractive Index of SOI Waveguides using Interferometers
Measurements of Effective Refractive Index of SOI Waveguides using Interferometers
复制标题
使用干涉仪测量 SOI 波导的有效折射率
DOI：
10.1364/iprsn.2015.im2a.6
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发表时间：
2015
影响因子：
1.6
通讯作者：
W. Bogaerts
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
S. Dwivedi;T. Vaerenbergh;A. Ruocco;T. Spuesens;P. Bienstman;P. Dumon;W. Bogaerts
本文提出了一种利用三台马赫-曾德尔干涉仪精确测量C波段SOI波导有效折射率的方法。在晶片上，有效折射率和群折射率的平均提取误差为0.003和0.004。
We demonstrate an accurate method of measuring the effective refractive index of SOI waveguides in the C-band using three Mach-Zehnder Interferometers. Over wafer the average extraction error of effective index and group index is 0.003 and 0.004.