Investigation of atmospheric pressure nitrogen plasma assistance on mist CVD of zinc oxide thin films
Investigation of atmospheric pressure nitrogen plasma assistance on mist CVD of zinc oxide thin films
复制标题
常压氮气等离子体辅助氧化锌薄膜雾气CVD的研究
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mineo Hiramatsu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiroya Kobayashi;Keigo Takeda;Mineo Hiramatsu
