Accurate measurement of EUV multilayer period thickness by in situ automatic ellipsometry
Accurate measurement of EUV multilayer period thickness by in situ automatic ellipsometry
复制标题
原位自动椭偏仪精确测量EUV多层周期厚度
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshihide Tsuru
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tamio Endo;Kouji Yoshii;Takahisa Sakurada;Michi Ogata;Ajay K. Sarkar;Masanori Ogata;Hidetaka Nakashima;K.Z.Liu;Toshihide Tsuru
