電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置の力制御方法の提案と考察
電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め装置の力制御方法の提案と考察
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电空混合超精密垂直定位装置力控制方法的提出与探讨
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徐有衛，加藤友規，田中智博，島崎皓平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomonori Kato;Tomohiro Tanaka;Youwei Xu;Kohei Shimazaki;徐有衛，加藤友規，田中智博，島崎皓平
