AlGaN/GaN ヘテロ構造上に形成したp-GaN層の選択的電気化学エッチング
AlGaN/GaN ヘテロ構造上に形成したp-GaN層の選択的電気化学エッチング
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AlGaN/GaN 异质结构上 p-GaN 层的选择性电化学蚀刻
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
橋詰 保
中科院分区：
文献类型：
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作者：
熊崎 祐介;佐藤 威友;橋詰 保
