A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces
A MEMS Device Integrating Multiple Cantilever Displacement Sensors to Evaluate Flat Machined Surfaces
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集成多个悬臂位移传感器以评估平面加工表面的 MEMS 器件
DOI：
10.20965/ijat.2022.p0582
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发表时间：
2022
影响因子：
1.1
通讯作者：
Japan、Tamiya Koichi、Mizukami Shoichiro、Tamaru Yuuma
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Shimizu Hiroki、Graduate School of Engineering;Kyushu Institute of Technology 1-1 Sensui-cho;Tobata-ku;Kitakyushu-shi;Fukuoka 804-8550;Japan、Tamiya Koichi、Mizukami Shoichiro、Tamaru Yuuma
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DOI：
10.20965/ijat.2017.p0716
发表时间：
2017
期刊：
Int. J. Autom. Technol.
影响因子：
--
作者：
E. Okuyama;Kohei Konda;Hiromi Ishikawa
通讯作者：
Hiromi Ishikawa
1512 重新设计悬臂位移传感器，提高灵敏度和通道分离度
影响因子：
3.7
作者：
H. Shimizu;Souichiro Komatsu;Yuuma Tamaru
通讯作者：
Yuuma Tamaru
使用逆滤波的广义两点法进行表面轮廓测量 - 误差传播的理论分析和实验结果 -
DOI：
10.20965/ijat.2014.p0043
发表时间：
2014
期刊：
Int. J. Autom. Technol.
影响因子：
--
作者：
E. Okuyama;Hiromi Ishikawa
通讯作者：
Hiromi Ishikawa
逐点测量法直线度测量的思考：第1部分，逐点测量法误差表达式及理论分析
DOI：
10.1299/kikaic.57.3197
发表时间：
1991
期刊：
Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. C
影响因子：
--
作者：
誠 小尾;進 古川
通讯作者：
進 古川