GaN(0001)基板上でのアモルファスGa2O3膜の熱処理による高配向結晶成長
GaN(0001)基板上でのアモルファスGa2O3膜の熱処理による高配向結晶成長
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GaN(0001)衬底上非晶Ga2O3薄膜热处理高取向晶体生长
DOI:
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发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
塚越 一仁
中科院分区:
文献类型:
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作者:
澤田 朋実;生田目 俊秀;高橋 誠;伊藤 和博;女屋 崇;色川 芳宏;小出 康夫;塚越 一仁