Batch fabrication of cantilever array aperture probes for scanning near-field optical microscopy
Batch fabrication of cantilever array aperture probes for scanning near-field optical microscopy
复制标题
用于扫描近场光学显微镜的悬臂阵列孔径探针的批量制造
DOI：
10.1016/j.mee.2009.11.140
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发表时间：
2010
影响因子：
2.3
通讯作者：
J. Weaver
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Zhang;K. Docherty;J. Weaver
