Compact EUV Source Based on Laser Compton Scattering between Micro-bunched Electron Beam and CO2 Laser Pulse
Compact EUV Source Based on Laser Compton Scattering between Micro-bunched Electron Beam and CO2 Laser Pulse
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基于微束电子束和 CO2 激光脉冲之间的激光康普顿散射的紧凑型 EUV 源
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et.al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kashiwagi;et.al.
