Plasma enhanced atomic layer deposition of titanium nitride-molybdenum nitride solid solutions
Plasma enhanced atomic layer deposition of titanium nitride-molybdenum nitride solid solutions
复制标题
氮化钛-氮化钼固溶体的等离子体增强原子层沉积
DOI：
10.1116/6.0000717
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发表时间：
2021
影响因子：
2.9
通讯作者：
Strandwitz, Nicholas C.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chowdhury, Md. Istiaque;Sowa, Mark;Kozen, Alexander C.;Krick, Brandon A.;Haik, Jewel;Babuska, Tomas F.;Strandwitz, Nicholas C.
